Technologies generiques de microfabrications t.1 ; traite egem
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À propos

Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de micromiroirs. La photolithographie, ainsi que les méthodes de dépôt, de gravure, et de caractérisation de couches minces sont décrites dans ce volume. Des exemples de procédés et de réalisations permettront aux étudiants et aux ingénieurs de se familiariser avec les possibilités, mais aussi d'appréhender les limites de ces technologies.

Categories : Sciences & Techniques > Sciences appliquées et industrie > Filières industrielles

  • EAN

    9782746208179

  • Disponibilité

    Disponible

  • Épaisseur

    0.5 cm

  • Poids

    1 701 g

  • Distributeur

    Lavoisier

  • Support principal

    Grand format

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